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在进行微焦点X射线机检测时有一个与常规X射线机检测很大的不同:我们通常不需要考虑图像半影的大小,即通常不考虑几何不清晰度的影响。原因是当焦点尺寸足够小时,半影可以忽略不计。 因此我们可以在X射线机视场可接受的情况下,尽可能减小被检样品到焦点的距离。
微焦点X射线机的主要技术参数1

微焦点X射线机的主要技术参数有那些?
- 管电压范围:微焦点X射线管的高压工作范围。
- 最大管电流:从阴极到阳极的最大电流。
- 最大功率:微焦点X射线管的最大功率。
- 电子束聚焦能力(焦点):在给定功率下的焦点尺寸,如:3µm@5W;0.2mm@320W。焦点一般连续可调。
- 细节分辨能力:通常公认的最小的细节分辨能力为焦点尺寸的一半。
- 锥束角:在给定窗口直径下的X射线放射角。如:孔径2mm时,25°。
- 锥束角线均匀度:射线视场强度的均匀性,以百分比表示。
- X射线剂量率稳定性:X射线机剂量随时间的变化性,以 百分比/小时 表示。
微焦点X射线机的主要技术参数2

- 最小焦距:通常用焦点到X射线管窗口外表面的距离来表示。
- 靶材料:通常有钨,钼,铜以及其它材料。
- 最小高压稳定时间:系统在最大电压和最大功率模式下,从开机到稳定运行所需的时间。
- 其它参数:重量,尺寸,电源,及温度湿度要求等。